Saf buhar jeneratörü, saf buhar üretmek için enjeksiyon için su veya arıtılmış su kullanan bir ekipmandır. Ana kısım seviye arıtmalı su deposudur. Tank, yüksek saflıkta buhar üretmek için deiyonize suyu kazandan gelen buharla ısıtır. Tankın ön ısıtıcısı ve buharlaştırıcısı yoğun dikişsiz paslanmaz çelik boruyu benimser. Ayrıca çıkış valfinin ayarlanmasıyla farklı karşı basınç ve debilerde yüksek saflıkta buhar elde edilebilir. Jeneratör sterilizasyona uygundur ve ağır metal, ısı kaynağı ve diğer yabancı madde yığınlarından kaynaklanan ikincil kirliliği etkili bir şekilde önleyebilir.